無錫泓川科技 LT-R 系列反射膜厚儀基于光干涉原理，

采用高強(qiáng)度氘燈（190-400nm）與鹵素?zé)簦?50-2500nm）組合光源，

光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍。

適配探頭包括 LT-IVP-T10-UV-VIS（彌散光斑）、

LT-IRVP-TVF（聚焦光斑）等型號，不同探頭參考距離、測量角度、

光斑直徑等參數(shù)有所差異。其重復(fù)精度達(dá) 0.05nm，

準(zhǔn)確度為 <±1nm 或 ±0.3%（取較大值），

采樣頻率最高 100Hz（視求解參數(shù)復(fù)雜度而定），

測厚范圍約 20nm~50μm（折射率 1.5 時(shí)）。

具備抗干擾能力強(qiáng)、納米級測量精度等特點(diǎn)，

支持自定膜結(jié)構(gòu)測量、多層透明測厚、硬薄膜測量等，

可應(yīng)用于液晶顯示膜厚測量、噴涂膜厚測量、光伏硅片 Poly 層膜厚測量、

精密涂布膜層測厚等場景。測控軟件為 WLIStudio，

提供二次開發(fā)包 WLI-SDK，工作溫度 10-40℃，

相對濕度 20%-85% RH（無冷凝），電源電壓 220V±20V 50Hz AC，

最大功率 50W。